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一、安全事項及設備安放場所
    1、本設備的操作人員必須先經過崗前安全培訓，熟悉安全操作知識，并經考核合格。
    2、本設備必須安放在通風良好的場所，屋頂必須安裝防爆型換氣扇。
    3、設備周圍發生火災或其他不安全因素請立即停車并關閉所有進出口閥門。 
    4、電控箱內有高壓，非電工人員請勿打開電控箱門，以免遭電擊。
    5、用壓縮空氣試漏時，壓力不得超過0.4MPa以免流量計玻璃碎裂。

A、氨分解制氫
二、氨分解工作原理：
     1摩爾氨（氣態）在一定的壓力和溫度及鎳觸媒催化作用下，可分解為3/2摩爾的氫氣和1/2摩爾的氮氣，并吸收一定的熱量。其化學方程式如下：
 2NH3 催化劑 3H2 ＋N2－Q
     分解后的氫、氮混合氣利用變溫吸附再生的原理，經13X分子篩床吸附其中的水份及殘氨，并保持其性質不變，從而達到干燥純化的目的，而13X分子篩經加熱，用純化氣沖洗、解吸被分子篩吸附的水分、殘氨，從而達到再生重復使用的目的。
 三、氨分解制氫的優點：
     用此法制得的氣體是一種良好的保護氣體，可以廣泛地應用于半導體工業，冶金工業，以及需用保護氣氛的其它工業和科學研究中。
     氨分解制取保護氣體，在工業上是很容易實現的，這是因為：
    1、氨易分解：分解壓力不高，在催化劑作用下，溫度控制在800-850℃時氨可大部分解，其分解率可達99.9%。
    2、氣體精制容易：作為原料的液態氨，純度是很高的，其中揮發性雜質只有溶解在液氨中的少量惰性氣體和水分，幾乎不含氧，同時，在此條件下，氨分解是不可逆的。由此可見，氨分解后氣體經13X分子篩床吸附可除去其中的水分，其露點達-60℃，殘氨小于5PPM即為精制的氫氮混合氣，這樣可以實現半導體工業上所不希望存在的有害的非金屬元素。如：氯和氧。
     3、在我國，原料液氨容易得到，價格低廉，而且原料消耗也比較少（每公斤氨可產生2.5Nm3混合氣體）。
 四、氨分解工藝流程：
     液態氨經減壓后經過汽化器汽化成氣態氨（汽化器外層水套里有80℃循環水），汽化好的高壓氣氨再經過汽化器后級減壓，然后送往熱交換器進入分解爐，分解爐內裝有活化過的鎳觸煤，在800℃～850℃溫度下進行分解，分解后高溫氣體在熱交換器內與氣態氨進行熱交換，此時分解氣降溫，氣氨回收熱量并升溫后進入分解爐分解，熱交換后的分解氣進入除氧器進一步除掉微量氧，然后在冷卻器內冷卻后，進入干燥器（13X分子篩床）除去殘余水分及其它雜質。其純度可達到如下：露點：-60℃，殘氨5PPM以下。而干燥器一般設置二臺，一臺將送入的分解氣吸附、干燥后送往使用點，另一臺取一部分干燥后的合格氣通過加熱再生（一般在250～300℃）釋放出其中的水份及殘氨，二臺交替（一臺工作一臺再生）使用從而達到重復利用的效果。
 五、技術指標：
    1、氨分解額定產氣量：  50Nm3/h    (25%N2，75%H2)
    2、配比裝置額定產氣量：50Nm3/h
    3、氨分解氣體純度：    露點≤-60℃  ，殘氨≤5PPM                   
    4、分解爐操作溫度：    800-850℃ 
    5、分解爐額定功率:     60KW（電壓：380V，50Hz）
    6、干燥器額定功率：3.6KW, 電壓220V(一組工作另一組再生或備用)
    7、額定氨耗：         20Kg/h  
    8、氨分解工作壓力：   ＜0.09MPa
    9、干燥器工作溫度：  常溫
    10、干燥器再生溫度：  250-300℃  
    11、干燥器工作周期：  24h  
    12、氨分解裝置重量    約4T   
六、氨分解帶純化裝置：
    1、原始開車：
    1）仔細閱讀使用說明書,熟悉設備的原理和構造。
    2）檢查氣、電各系統是否暢通，消除泡、冒、點、漏，并接通電源。
    3）鎳觸媒的活化：分解爐內裝的觸媒在出廠時已經還原，但因設備在運輸，庫存期間總有水分、氧氣等解入，觸媒活性略有下降，因此原始開車時要進行觸媒的活化。
    4）觸媒活化操作如下：接通電源，關閉氨分解閥，設備開始升溫，此時打開放空閥并檢查設備內氣體因受熱膨脹而有否放空，升溫至500-600℃時，通入少量氣氨進行充壓、置換、并進行不完全氨分解，因氨分解是吸熱反應，從而達到控制分解爐的升溫速度，防止因升溫速度過快而損壞設備。在活化過程中，其通氨量與升溫過程如下：
溫度范圍（℃） 升溫及保溫時間(h) 分解爐流量(m3/h)
室溫-200℃ 2 0
200-500℃ 3 0
500-600℃ 3 1-10
600-700℃ 3 10-15
700-750℃ 3 15-30
750-850℃ 3 30-50
    樣氣檢驗:可用化學分析或經驗方法,其中經驗方法為,從放空口嗅不到明顯的氨臭味或觀察分解氣燃燒時火焰呈橙色,若符合上述現象則分解氣合格，合格后既可關閉放空閥、打開分解氣出口閥、工作Ⅱ進閥,工作Ⅱ出閥，經流量計送入后級純化，此時流量大小根據實際情況，調節進氨壓力來控制分解氣流量。
    5）干燥器內13X分子篩活化再生：氨分解開車正常后，取小部份合格的分解氣送入“干燥器Ⅱ”，吸附干燥其中的水份、殘氨（處低負荷工作），利用這部氣體來加熱沖洗”干燥器Ⅰ”中的13X分子篩，此時干燥器升溫選擇開關撥向1組 ，這部分氣體經“放空閥”放空。具體操作如下：
    打開“分解氣出口閥”“工作Ⅱ進”、“工作Ⅱ出、”“再生閥”“再生Ⅰ進、”“再生Ⅰ出”、“放空閥”并調節再生流量約5m3/h。將干燥器升溫選擇開關撥向Ⅰ組，其升溫過程如下：
溫度范圍（℃） 升溫及保溫時間
室溫-100 2
100-200 2
250-300 4
    6）干燥器Ⅰ活化（再生）結束后，所有閥門不變,本系統在干燥器溫度到達指定溫度后會自動轉入冷卻狀態，并可繼續用經干燥器Ⅱ純化的小氣量吹冷”干燥器Ⅰ”至常溫（也可讓“Ⅰ組干燥器”自然冷卻至常溫）；然后關閉“工作Ⅱ進”、“工作Ⅱ出”、“再生閥”“再生Ⅰ進”、“再生Ⅰ出”和“放空閥”， Ⅰ組干燥器即可投入正常工作。
    7）Ⅱ組干燥器再生活化步驟與Ⅰ組干燥器活化相同，但閥門相應變為“工
作Ⅰ進”、“工作Ⅰ出”、“再生閥”“再生Ⅱ進”、“再生Ⅱ出”和“放空閥”。并將干燥器選擇開關撥向Ⅱ組 
     2、正常運轉:
     氨分解部分：
    1）接通電源、調節溫控儀溫度（具體操作請參見溫控儀使用說明書）分解爐溫度升到800-850℃。
    2）打開氨瓶，調節汽化器前級調壓閥，讓液氨進入汽化器進行汽化，再調節汽化器后級調壓閥（一般壓力為：能夠供上后級用氣為止，但是前級不能超過6公斤，后級不能超過3公斤）。
    3）通氨放空：打開放空閥，然后慢慢打開進氨閥。汽化好的氣氨進入熱交換器，在熱交換器內分解氣與氣氨進行熱量交換，再進入分解爐進行分解。大約放空半小時（放空流量大約為20m3h）。
    4）大約放空半小時后，通過取樣口取樣檢驗，如分解氣合格，即可關閉放空閥，打開分解氣閥，向后級純化裝置送出合格分解氣。
    純化部份：
    5）干燥器Ⅰ組工作，Ⅱ組再生步驟：
    打開“分解氣出口閥”“工作Ⅰ進閥”、“工作Ⅰ出閥”、“純氣出口閥”，純化后的氣體即可送往使用點；并打開“再生Ⅱ進閥”，“再生Ⅱ出閥”，‘再生閥’將再生流量調至5m3/h左右，然后將干燥器升溫選擇開關撥向Ⅱ組，調節溫控儀至250～300℃。按干燥器升溫活化過程進行，將Ⅱ組干燥器升溫再生。
    6）純化裝置Ⅰ組工作，Ⅱ組吹冷步驟：
    Ⅰ組工作仍按原操作閥門操作，Ⅱ組再生到溫后，系統將自動轉入冷卻狀態所有閥門開關狀態不變，繼續吹冷至室溫。
    7）純化裝置Ⅱ組工作，Ⅰ組再生步驟：
    打開“工作Ⅱ進閥”、“工作Ⅱ出閥”、“純氣出口閥”，并調節純氣流量，向使用點送氣。并打開“再生閥”、“再生Ⅰ進閥”、“再生Ⅰ出閥”并調節再生流量至15m3/h，將電源選擇開關撥到Ⅰ組，調節溫控儀至250～300℃。
    8）純化裝置Ⅱ組工作，Ⅰ組吹冷步驟：
     Ⅱ組工作仍按原操作閥門操作。Ⅰ組再生升溫結束后，系統將自動轉入冷卻狀態。所有閥門開關狀態不變，繼續吹冷至常溫。然后轉入下一個周期。
3、停機：切斷總電源 , 關閉所有進出口閥門。