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真空爐中釬焊設備主要由真空釬焊爐和真空系統兩部分組成。真空釬焊爐大致有兩種類型，熱壁爐和冷壁爐。兩種類型的爐子可用燃氣加熱或電加熱，可設計成側裝爐、底裝爐或頂裝爐（坑式）結構。真空系統可以通用。

真空系統主要包括真空機組、真空管道、真空閥門等。真空機組通常由旋片式機械泵和有擴散泵組成。單用機械泵只能得到地域1.35×10^-1Pa級的真空度。要獲得高真空必須同時使用油擴散泵，此時能達到1.35×10^-4Pa級的真空度。系統內的氣體壓力用真空計測量。